加大研发布局，栎智科技推动电子特气产业高质量发展

 近日，上海栎智半导体科技有限公司（简称“栎智科技”）正式签约入驻企知道科创空间。栎智科技是国内领先的电子级气体化学品系统技术服务商，在电子级气体化学品输送系统细分领域，市场占有率达到15%左右，获得了国家高新技术企业认定，并成功入选上海专精特新中小企业名单。

       双方签约合照

       此次合作，栎智科技将依托企知道·科创空间数智化科创服务，从智能营销拓客、科创情报获取、政策精准匹配、研发全过程管理等方面推进企业数字化创新体系建设，以加大研发布局、强化产能建设、优化产品结构，为推进半导体产业国产化进程贡献力量。

       立足泛半导体行业，实现国产替代重大突破

       自2010年成立以来，栎智科技立足于中国半导体、微电子等泛半导体行业，一直专注为高端制造企业、电子级气体化学品生产企业、研发机构提供超高纯介质全链路系统解决方案，包括行业方案设计、材料采购、设备制造、系统安装和售后维保服务，搭建有电子气体化学品输送系统、工艺机台定制化配套设备、电子气体化学品生产成套设备、前驱体材料生产成套设备、特液输送系统等五大成熟的业务板块。

       业务板块介绍－电子气体输送系统

       面对半导体行业国产化大趋势，栎智科技持续加强新产品新工艺的开发应用，旨在为客户解决定制化开发、国产化替代的难点，提供更灵活、更及时的服务。凭借在行业的多年深耕以及持续高强度投入研发，栎智科技取得了显著的科技成果，公司自主研发出了特气特液设备（GC/GR/VMB/LDS）、非标定制设备（Gas Box）、化学品设备（CDM/VMB）、鼓泡器（VDS）和全自动上下料设备（PR）等系统，是解决国外对中国半导体技术卡脖子问题的重大进步；截至目前，栎智科技获得实用新型专利25项，正在申请发明专利12项，通过SEMI2、CE-化学品、CE-气柜、ISO9001、ISO45001、ISO14001、GC2（特种设备生产许可）等多项体系认证。

       部分荣誉展示

       其中，栎智科技的特液供应系统（LDS）是一种将半导体制造过程中所需的前驱体材料稳定地输送至工艺设备的输送装置，该系统具有防爆型设计、外置气体灭火装置，通过采用合适的载气在一定压力下实现液压前驱体材料的稳定输送，很好地保障了输送过程安全性，且系统是基于PLC控制的全自动系统，采用了触摸显示器实现便捷操作，支持与工艺设备多模式通讯，技术优势明显，行业地位突出。

       自研特气特液设备（GC/GR/VMB/LDS）

       此外，栎智科技为半导体、光伏行业提供的关键工艺设备气控箱定制化服务已达到国际一线水平，其主要依据客户工艺要求完全定制化、模组化气体传输系统，支持多种定制模式，满足半导体工艺设备高纯度、高精度、小型化、集成化的需求，可基于VCR通用型、IGS集成型等多形式完成标准化设计、制造、测试，并以专业人员、高标准的洁净厂房、全自动焊接设备，全套检测仪器和完善的质量保证体系为客户实现高端制造。

       关键工艺设备定制化装置

       依托十余年在电子级气体化学品输送系统领域的丰富经验，栎智科技已成长为细分领域的头部企业，实现了半导体关键工艺设备配套设备方面的产品突破和快速增长，业务广泛覆盖集成电路、太阳能光伏、新材料新能源、光纤通信、平板显示与半导体照明等领域，与北方华创、雅克科技、中巨芯、湖北和远、南大光电、安德科铭等100多家优质企业建立了稳固业务合作，公司实施的项目也受到市场的高度认可，曾获得“林德Linde集团东亚大区最佳项目成就奖”“中芯国际优秀供应商”等奖项，营业规模同步实现快速增长，2023年销售额突破3亿元，在电子级气体化学品输送系统细分领域，市场占有率达到15%左右。

       项目实施现场展示

       数智技术赋能，引领可持续发展

       “双碳”战略的实施，以及国家各主管部门出台诸多政策文件，鼓励发展技术含量高、创新能力强的中高端制造业，为栎智科技带来更为广阔的产业空间和市场机遇。

       为进一步巩固提升公司的行业地位，栎智科技签约企知道科创空间，通过“大数据+大模型”的科创服务模式，以高质量、高效率、可持续发展为主线，聚焦新科技、新能源、新生态，积极开展数字化转型的同时，加大关键核心技术攻关，推进节能降碳技术改造，实现降本增效。

       未来，在科创空间的助力下，栎智科技将通过丰富的产品组合、优异的产品性能以及全面的增值服务，加大在中国本土市场的布局力度，为更多领域客户快速发展提供助力，为国内半导体产业的进步添砖加瓦。